超纯应材10月20日在互动平台表示，公司5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产。
超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产
2026-10-20 12:44:52
来源：界面新闻
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